Kapazitive triaxiale MEMS K-Beam-Beschleunigungssensoren für Niederfrequenzanwendungen, 2 ... 200 g / 8396A

Die Familie der triaxialen kapazitiven K-BEAM Beschleunigungssensoren des Typs 8396A... verwendet ein Silizium-Mikro-Elektro-Mechanisches System (MEMS) mit variabler harteloxierter Platte (zur Bodenisolierung bei Klebemontage) als kapazitives Sensorelement. Das Sensorelement jeder Achse besteht aus einer sehr kleinen seismischen Masse und einem Biegeelement, das zwischen zwei Platten angeordnet ist. Wenn sich die Masse bei Beschleunigung auslenkt, ändert sich die Kapazität zwischen diesen Platten. Die im internen Signalaufbereiter des Beschleunigungsmessers enthaltene Schaltung zur Wechselstromerregung und synchronen Amplitudendemodulation liefert ein analoges Ausgangssignal, das proportional zur angelegten Beschleunigung ist. Dieses Ausgangssignal ist als Spannung skaliert, die proportional zur angelegten Beschleunigung ist. Das Ausgangssignalformat ist als bipolar 0±4 V, single-ended 2,5±2 V und 0±4 V oder 0±8 V differentiell verfügbar. Der Beschleunigungssensor wird über eine einzige geregelte Versorgung zwischen 6 und 50 VDC versorgt. Ein Temperaturausgang ist vorhanden, wenn eine externe Kompensation des Ausgangssignals gewünscht wird. Das Sensorelement und die Elektronik befinden sich in einem leichten, geschweißten Titangehäuse mit einem runden 9-poligen Stecker oder einem integrierten Kabel*, das mit offenen Enden oder einem 9-poligen D-Sub-Stecker abgeschlossen ist. Die Masseisolierung wird durch die Montage des Sensors mit einem masseisolierenden Adapter als Zubehör oder durch die Klebebefestigung des Sensors am Prüfobjekt mit der Seite des Sensors mit der integrierten harteloxierten Platte erreicht.