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Capteur de pression piézorésistif

Qu’est-ce qu’un capteur de pression piézorésistif ?

Les capteurs de pression piézorésistifs ont pour élément de mesure un pont de Wheatstone impliquant du silicium. Cet élément subit une extension minimale sous l’effet de la tension et modifie ainsi la résistance électrique. Cet effet est communément appelé l’effet piézorésistif.

À quoi servent les capteurs de pression piézorésistifs ?

Les capteurs de pression piézorésistifs étant largement exempts de dérive, ils se prêtent particulièrement à la mesure des pressions statiques.

Piezoresistive pressure sensor based on silicon chip: a silicon chip senses the pressure via a membrane and silicone oil.
Piezoresistive pressure sensor based on silicon chip: a silicon chip senses the pressure via a membrane and silicone oil.
There are three kinds of piezoresistive pressure sensors: absolute, relative and differential pressure sensors.
Piezoresistive pressure sensor based on silicon chip: the pressure is sensed by the silicon chip via a membrane and incompressible silicone oil.

Comment fonctionne un capteur de pression piézorésistif ?

La pression à mesurer est transmise à la puce en silicium via une membrane et une huile de silicone incompressible. La puce est alimentée en énergie par une traversée en verre isolant et des fils de liaison. La sortie du signal de pression est exprimée en mV. Le signal de pression est ensuite compensé en température et amplifié en un signal de sortie V ou mA correspondant.

Quels sont les différents types de capteurs de pression piézorésistifs ?

En fonction de leur type, les capteurs de pression piézorésistifs mesurent la pression par rapport à différents points zéro (absolue rapportée au vide, pression ambiante ou différentielle à une autre pression). On choisira des capteurs de pression absolue, relative (jauge) ou différentielle en fonction de l’application voulue. Le tableau ci-dessous montre les différentes configurations en fonction du type de capteur de pression.