La piézorésistance est le changement de résistance électrique d’un matériau (semi-conducteur, métal, etc.) qui est dû à une contrainte mécanique. Ce changement de résistance électrique est imputable à deux facteurs : un changement de géométrie et un changement de conductivité du matériau. Le changement de résistance est bien plus fort sur les semi-conducteurs que sur les métaux.
Kistler par exemple propose uniquement des capteurs de pression piézorésistifs basés sur des semi-conducteurs au silicium. Quatre résistances au silicium sont à cet effet diffusées dans une membrane semi-conductrice et interconnectées en pont de Wheatstone. En se déformant sous l’effet de la pression, le diaphragme modifie la résistance électrique des quatre résistances au silicium. Ce changement de résistance est proportionnel à la pression appliquée.
La tension différentielle qui traverse le pont de Wheatstone est donc également proportionnelle à la pression appliquée. La tension différentielle qui en résulte est acheminée au connecteur électrique pour être évaluée.
