Was ist ein MEMS-Beschleunigungssensor?
Diese Art von Beschleunigungssensor basiert auf mikroelektronischen Schaltkreisen, die eine sehr kleine seismische Masse enthalten. MEMS steht für mikro-elektromechanische Systeme und ermöglicht ultraminiaturisierte Sensoren im Leiterplatten-Maßstab.
Was ist ein kapazitiver MEMS-Beschleunigungssensor?
Ein wichtiger Typ eines MEMS-Accelerometers ist der kapazitive MEMS-Beschleunigungssensor, der ein Silizium-Sensorelement mit variabler Kapazität enthält. Es besteht aus zwei Platten und einem freitragenden Biegeelement zwischen ihnen. Wenn die seismische Masse unter Beschleunigung ausgelenkt wird, ändert sich die Kapazität zwischen den Platten. Moderne Smartphones enthalten in der Regel kapazitive MEMS-Beschleunigungssensoren zur Bewegungs- und Orientierungserkennung.
Welche Anwendungen und Varianten von MEMS-Beschleunigungssensoren gibt es?
Kapazitive MEMS-Accelerometer eignen sich vor allem für die Messung niederfrequenter Schwingungen, zum Beispiel beim Structural Health Monitoring. Sie sind sowohl als einachsige als auch als triaxiale Varianten erhältlich, das heißt sie messen entweder nur in einer Achse oder in allen drei senkrecht zueinander stehenden Achsen. Je nach Größe können MEMS-Beschleunigungssensoren Messbereiche von mehreren Tausend g erreichen.
