压阻式压力传感器


什么是压阻式压力传感器?

压阻式压力传感器的测量元件是硅基惠斯通电桥。传感器感应压力时,该测量元件仅发生最小程度的延伸,并通过这种方式改变电阻。该效应通常被称为压阻效应。

Piezoresistive pressure sensor based on silicon chip: a silicon chip senses the pressure via a membrane and silicone oil.
Piezoresistive pressure sensor based on silicon chip: the pressure is sensed by the silicon chip via a membrane and incompressible silicone oil.

压阻式压力传感器有何用途?

压阻式压力传感器几乎不会发生漂移情况,因此是测量静态压力的首选工具。

压阻式压力传感器如何工作?

在压阻式压力传感器中,硅芯片通过薄膜和不可压缩的硅油感测待测压力,芯片由绝缘玻璃馈线和连接线供电。压力信号输出单位为 mV。随后,传感器对压力信号进行温度补偿,并将其放大为相应的电压或电流信号输出。

压阻式压力传感器有哪些类型?

根据传感器类型不同,压阻式压力传感器基于不同的零点进行测量(相对真空、相对环境压力和与其他压力的差值)。因此,可根据应用情况选用绝对压力型、相对压力(表压)型或压差型传感器。下文将对不同类型压力传感器的配置进行概述。