半导体生产制造过程中的力测量

半导体制造正变得越来越复杂和具有挑战性。今天的制造商必须依靠有效的过程监测 - 但仅靠传统的测量方法已不能保证所需的质量标准。

这就是为什么力的测量正在成为许多前端和后端生产过程中的一个关键因素：研磨、切割、抛光、CMP、晶圆处理、晶粒分拣、焊线、倒装芯片、成型和封装、取放处理、测试 - 以及更多。

奇石乐的压电测量技术确保对半导体制造过程中施加的力进行高分辨率的监测和控制--无论多么微小。

传统的计量学可能无法接触到力，因为它是一个可能导致设备故障的物理量--但基于压电的力测量 "使不可见的东西可见"。

基于动态力测量技术的过程可见性为半导体制造业带来了令人印象深刻的好处

• 早期检测机械应力的偏差
• 闭环控制的下压力精度
• 产品可追溯性和工艺优化
• 增强机器性能
• 降低质量成本

除了有数十年经验支持的测量技术外，奇石乐的客户还享有另一个关键的好处：整个测量链的单一来源。我们的产品组合包括从最先进的传感器技术和先进的数据采集单元，到用于精确数据分析和测量结果可视化的硬件和软件。下面是三个采用动态测力技术的测量链的例子--所有的部件都可以从奇石乐这个一站式商店获得。

压电传感器测量力。然后，工业电荷放大器将电荷转换为等于所测过程力的电信号。最后，该信号被传输到测量链末端的可编程逻辑控制器（PLC）或工业PC。

测量链的好处

• 过程控制：精确的闭环控制
• 过程监控：与产品质量参数有更直接的关联性
• 过程可追溯性：数据作为记录和过程优化的基础

压电传感器测量力。得益于maXYmos过程监控系统，用户可以在力/时间或位移曲线的帮助下检查和评估每个单独生产步骤的质量。这个测量链的主要优点：每个生产步骤都可以被检查和可视化，以确定零件的好坏。

测量链的好处

• 过程控制：精确的闭环控制
• 过程监控：与产品质量参数有更直接的联系 
• 过程可追溯性：数据作为记录和过程优化的基础

在这个测量链中，力由压电传感器测量，然后由实验室电荷放大器将传感器的电荷信号转换为比例输出电压。实验室电荷放大器具有极宽的电荷和频率范围，以及出色的噪声性能，使该测量链成为执行研发任务的理想选择。

该测量链的优点

• 过程控制：精确的闭环控制
• 过程监控：与产品质量参数有更直接的关联性 
• 过程可追溯性：以数据为基础进行记录和过程优化

我们的专家将很高兴为您提供任何具体应用的建议，或为您的测量链提供最佳的产品选择建议。