ピエゾ抵抗効果

ピエゾ抵抗効果とは何ですか？

ピエゾ抵抗効果とは、機械的歪がかけられたときの素材（半導体、金属など）の電気抵抗の変化のことです。電気抵抗の変化には、素材の形状の変化と導電性の変化の2つの原因があります。金属よりも半導体の方が、抵抗の変化が顕著に表れます

測定素子としての半導体

例えばキスラーでは、半導体シリコンをベースとしたピエゾレジスティブ圧力センサのみを提供しています。このため、4つのシリコンレジスタを半導体メンブレンに拡散させて配置し、互いに接続してホイートストンブリッジを形成します。圧力の影響下でダイヤフラムが変形し、それにより4つのシリコンレジスタの電気抵抗に影響を及ぼします。抵抗の変化は印加された圧力と比例します。

このことは、ホイートストンブリッジ全体の差動電圧が印加圧力に比例することも意味しており、結果として得られる差動電圧を電気コネクタに渡して評価を行うことができます。