静的圧力測定向け圧電式圧力センサ(電荷出力型(PE))


圧電式圧力センサ(電荷出力型(PE))で静的圧力の測定が可能か。

静的圧力の測定時、つまり静的負荷がかかっているとき、圧電式圧力センサ(電荷出力型(PE))にはその動作原理により小さなドリフトが生じます。対照的に、ピエゾ抵抗の原理を用いたセンサはほとんどがドリフトなしで動作します。

Piezoelectric pressure sensors with charge output (PE) display a drift during static pressure measurement.
Fig. 1: Piezoelectric pressure sensors with charge output (PE) display a drift during static pressure measurement.

大小の静的圧力の長期的な測定

圧電式圧力センサ(電荷出力型(PE))では、静的負荷がかかると、測定圧力に関係なくドリフト値は常に一定となります。このドリフトによって生じる相対的測定エラーは、小さな圧力を長期的に測定する必要がある場合には好ましくありません。

ただし、大きな静的圧力の長期的な測定には問題はありません。圧電式圧力センサを使用する場合、測定時間は、測定する圧力の種類と精度の要件によって異なります。

図2は、静的圧力の測定には圧電式圧力センサを使用できるか、またはピエゾレジスティブ圧力センサのみの使用が適しているかを示したグラフです。このグラフから、圧電式圧力センサでは、圧力が十分に大きければ測定期間の長さは問題にならないことがわかります。ただし、長期的な監視には、ピエゾレジスティブセンサの方がより適していることは明白です。